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ガスラインフィルタ（半導体工業用）
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高分子膜タイプ ガスラインフィルタ
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- 信頼性のある高い捕捉性能と安定したろ過操作が行えるPTFE（ポリ四弗化エチレン）ラミネート膜
- 高流量、低圧損を実現
- 耐食性にすぐれた構成部材で、活性ガスにも使用可能
- 早い使用立ち上がりが可能な精密洗浄
- ハウジング内面は、鏡面仕上げ。内面焼けのない溶接技術
- 確実な品質管理
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オールメタル ガスラインフィルタ
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- 高温ベーキングが可能
- 高い捕捉性能を実現
- 早い使用立ち上がりが可能な精密洗浄
- 内面は焼けの少ない溶接技術による鏡面仕上げ
- 溶接箇所の少ない組み立て方法
- 確実な品質管理
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