大量ガスの浄化に最適な大型ガスラインフィルタ。
一般ガス供給ラインやガス精製装置などに。

500L/min以上の大量ガスの浄化が可能な大型ガスラインフィルタ。
ガスのクリーン化用に開発されたPTFE膜メンブレンフィルタを採用しています。
精密なろ過性能と高い安全性、目的に合わせて選べる各種タイプを揃え、厳格な品質管理を要求される半導体工業のほか、大量のガスを必要とするLCD製造にも威力を発揮します。