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| ・先端に0.01μmの中空糸膜フ ィルタを採用 ・コンパクト、軽量、大流量 ・オイルフリー・クリーンルーム仕様 ・従来品 (CAGN-14) に比べて本体の耐薬品性が向上 ・オプション品としてオレフィン系のコイルホースをラインナップ |
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BARC、TARC、フォトレジスト、ポリイミド、アルコール、現像液、超純水、洗浄液、剥離液、高純度薬品のろ過に。 |
| ・オールポリエチレンで構成された精密ろ過フィルタです。 ・コンパクトで、かつ大ろ過面積です。 ・滞留によるゲル化が生じ難く、フィルタの交換頻度が減少します。 ・低圧損、高流量かつロングライフでコスト低減を実現。 ・幅広い耐薬品性能、低溶出性能。 ・ROHS対応品。 |
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結露の季節。圧縮空気の除湿に。 |
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幅広い耐薬品性と孔径サイズ。 |
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