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フォトレジスト用中空糸膜フィルタ
> チューブタイプ FTシリーズ
428KB
特長
特長
効果
オールポリオレフィン製
幅広い耐薬品性能で低溶出性
高ろ過精度の中空糸膜
高いろ過精度を発揮
画期的なコンパクトサイズ
（1/4、3/8インチチューブ）
高価で少量のろ過液の残液によるロスを最小限に
用途
フォトレジスト、アルコール、現像液、超純水、無機薬品等
仕様
ろ過精度
100、50、20nm
最大使用圧力
0.4MPa
最大許容差圧
0.25MPa
使用温度範囲
5〜40℃
接続
入口/出口
1/4インチチューブ・3/8インチチューブ
（継手は別途お問合せください）
サイズ
（長さ）
115ｍｍ
材質
フィルタメディア
ポリプロピレン
チューブ
ポリエチレン
流量特性
製造記号
外形寸法
単位：mm
製品記号構成
（注意）製品選定の際は、必ず当社まで詳細情報・注意事項などをご確認ください。
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