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フォトレジスト用中空糸膜フィルタ
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特長
特長
効果
オールポリエチレン製
幅広い耐薬品性能で低溶出性
ＲｏＨＳ対応品
ろ過精度10nmの中空糸膜
高いろ過精度を発揮
低圧損で大流量
三次元網目構造
ゲル状物質の除去に効果的
用途
フォトレジスト、ポリイミド、アルコール、現像液、超純水、無機薬品等
仕様
カートリッジタイプ
ディスポーザブルタイプ
ろ過精度
10nm
ろ過面積（ｃ㎡）
15000
3500
最大使用圧力
0.4MPa
最大許容差圧
0.25MPa
使用温度範囲
5～40℃
接続
2-222、2-226Oﾘﾝｸﾞ
1/4”Swagelok互換
1/4”フロウエル60互換
材質
フィルタメディア
ポリエチレン
ハウジング
ポリエチレン
Oリング
シリコン・バイトン・EPDM
FEP被覆バイトン
-
流量特性
製品記号構成
アクセサリー
単位：mm
（注意）製品選定の際は、必ず当社まで詳細情報・注意事項などをご確認ください。
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