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フォトレジスト用中空糸膜フィルタ
> ポリフィックスFD05/10シリーズ
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特長
特長
効果
オールポリオレフィン製
幅広い耐薬品性能で低溶出性
高ろ過精度の中空糸膜
高いろ過精度を発揮
低圧損で大流量
三次元網目構造
ゲル状物質の除去に効果的
用途
フォトレジスト、アルコール、現像液、超純水、無機薬品等
仕様
FD05
FD10
ろ過精度
100、50、20nm
ろ過面積(cu)
10000
22000
最大使用圧力
0.4MPa
最大許容差圧
0.25MPa
使用温度範囲
5〜40℃未満
接続
入口/出口
1/2”フロウエル60互換
エア抜き
1/4”フロウエル60互換
材質
フィルタメディア
ポリプロピレン
サポート
ポリエチレン
ハウジング
ポリプロピレン
Oリング
FEP被覆バイトン
流量特性
製品記号構成
外形寸法
単位:mm
(注意)製品選定の際は、必ず当社まで詳細情報・注意事項などをご確認ください。
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