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フォトレジスト用中空糸膜フィルタ
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ディスポーザルブタイプ
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特徴
ポリプロピレンとポリエチレンで構成された精密ろ過フィルタです。
コンパクトで、かつ大ろ過面積です。
ポンプの圧力応答性が良好です。
滞留によるゲル化が生じ難く、フィルタの交換頻度が減少します。
用途
フォトレジスト、現像液、シンナー、純水、無機化学薬品のろ過
仕様
ろ過精度
0.1μm, 0.05μm, 0.02μm
材 質
フィルタ
ポリプロピレン
外筒
ポリエチレン
ろ過面積
3,800cm
2
最大許容差圧
0.4MPa
使用温度範囲
5℃以上 50℃未満
接続部
1/4（Swagelok 互換タイプ）
流量特性
製品記号構成
外形寸法
単位：mm
アクセサリー
使用流体についてご不明な点は、当社工業フィルター営業部までお問い合わせください。
（注意）製品選定の際は、必ず当社まで詳細情報・注意事項などをご確認ください。
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単位：mm
