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FOF70シリーズ画像

フォトレジスト用中空糸膜フィルタ ポリフィックス FOF70シリーズ

工業用/カートリッジ交換タイプ

電子カタログ
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951KB

特徴

  • ポリプロピレンとポリエチレンで構成された精密ろ過フィルタです。
  • 大流量で高ろ過精度、長寿命です。
  • 高いゲル保持力を有します。

用途

  • フォトレジスト、現像液、シンナー、純水、無機化学薬品のろ過

仕様

ろ過精度 0.1μm, 0.05μm, 0.02μm
材  質 フィルタ ポリプロピレン
外筒 ポリエチレン
Oリング シリコン、EPDM、バイトン、
PFA被覆バイトン、FEP被覆バイトン
ろ過面積 FOF70□S 22,000 cm2
FOF70□W 44,000 cm2
最大許容差圧 0.4MPa
使用温度範囲 5℃以上 50℃未満
Oリングサイズ 2-222, 2-226

流量特性

流量特性図
流量特性図

製品記号構成

製品記号構成図

外形寸法

外形寸法図 外形寸法図
単位:mm

(注意)製品選定の際は、必ず当社まで詳細情報・注意事項などをご確認ください。


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