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ポリフィックスPEシリーズ薬液・純水用PE製中空糸膜フィルタ

中空糸膜技術を用いた
高流量、長寿命、クリーンな高品質フィルタ

特徴

  • オールポリエチレン製(中空糸膜、ケース、ポッティング)
  • 幅広い耐薬品性能
  • ろ過精度5nmから0.1μmまでラインナップ
  • カートリッジ(10"・20")とカプセルをラインナップ
  • ゲル状異物除去能力でDEFECT低減に効果
  • 特殊素材+特殊洗浄処理によりメタル、有機物の溶出を低減
  • 中空糸膜構造により高流量、低圧損、長寿命を実現し、
    ろ過プロセスの生産性向上に貢献

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用途例

  • レジスト、レジスト原料のろ過
  • 反射防止膜(TARC、BARC)のろ過
  • シンナー、現像液のろ過
  • 洗浄液、剥離液、エッチング液のろ過
  • 有機・無機薬品のろ過
  • 超純水、アルコールのろ過

製品記号構成

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仕様

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流量特性

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アクセサリー

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外形寸法

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