ポリフィックス クリーン

低溶出オールオレフィン中空糸膜フィルタ

特長
●ろ過精度 5nm
  ・高い異物除去、DEFECT低減
  ・DRAM 1/2 PITCH 50nm以下のArFレジストに対応
●中空糸膜フィルタ
  ・少ないデッドスペース
  ・大ろ過面積で高流量・低圧損
●クリーン
  ・低溶出(特殊素材+洗浄処理の採用)
  ・オールオレフィン製で幅広い耐薬品性



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仕様


  カートリッジタイプ ディスポーザブルタイプ
ろ過精度 5nm
ろ過面積 20,000c㎡ 4,000c㎡
最大使用圧力 0.4MPa at 25℃
最大許容差圧 0.25MPa at 25℃
使用温度範囲 5~40℃
接続 2-222、2-226 O-リング 1/4”Swagelok互換
1/4”flowell60
材質 フィルタメディア ポリプロピレン
ハウジング ポリエチレン(外筒) ポリエチレン
O-リング シリコン・バイトン・EPDMFEP被覆バイトン 他 -


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流量特性・製品記号構成・外形寸法


流量特性
流量特性 流量特性
製品記号構成
製品記号構成

製品記号構成


(注意)製品選定の際は、必ず当社まで詳細情報・注意事項などをご確認ください。


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