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画像: ポリフィックス ナイロン

ポリフィックス ナイロン

【中空糸膜】金属イオン低減効果を有すNyフィルター

特徴
  • ろ過精度5nm、10nm、40nmをラインナップ
  • カートリッジ(10"・20")とカプセル(5")をラインナップ
  • 高いゲル状異物除去能力
  • 特殊洗浄処理によりメタル、有機物の溶出を低減
  • 中空糸膜構造により高流量、低圧損、長寿命を実現
  • ナイロンによる金属イオン低減効果
用途例

フォトレジスト、レジスト原料、樹脂のろ過

シンナー、現像液のろ過

無機・有機薬品のろ過

反射防止膜(TARC、BARC)のろ過

洗浄液、剥離液、エッチング液のろ過

超純水、アルコールのろ過

製品記号構成
画像: ポリフィックス ナイロンの製品記号構成
仕様
画像: ポリフィックス ナイロンの仕様
流量特性
画像: ポリフィックス ナイロンの流量特性
外形寸法
画像: ポリフィックス ナイロンの外形寸法
金属イオン除去特性例
画像: ポリフィックス ナイロンの金属イオン除去特性例

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