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画像: ユニポア プロセスクリーンTシリーズ

ユニポア プロセスクリーンTシリーズ

PTFEメンブレンを使用し耐薬品性に優れたフィルター

特徴
  • PTFEメンブレンを使用し幅広い化学薬品に適用可能
  • 純水フラッシング済みなので初期の立ち上げ時間を短縮
  • サポート材にPEを使用したタイプは低溶出で半導体高純度薬品に適用可能
  • 孔径0.05~10μmを揃え前ろ過から最終ろ過まで対応可能
  • 10インチ、20インチ、30インチカートリッジをラインナップ
用途例

レジスト、レジスト原料のろ過

封止材、コーティング材のろ過

有機・無機薬品のろ過

現像液、洗浄液のろ過

シンナー、アルコール、超純水のろ過

タンク用エアベント

製品記号構成
画像: ユニポア プロセスクリーンTシリーズの製品記号構成
仕様
画像: ユニポア プロセスクリーンTシリーズの仕様
流量特性
画像: ユニポア プロセスクリーンTシリーズの流量特性
外形寸法
画像: ユニポア プロセスクリーンTシリーズの外形寸法

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