• オールポリオレフィン製で幅広い耐薬品性、低溶出
• 特徴的な中空糸膜構造により優れた異物捕捉能力
• 孔径5nm～0.2μmと幅広いラインナップ
• 大ろ過面積で高流量、長寿命
• 特殊素材+特殊洗浄処理により少ないメタル、有機物溶出

レジスト、レジスト原料のろ過

シンナー、現像液のろ過

有機・無機薬品のろ過

反射防止膜（TARC、BARC）のろ過

洗浄液、剥離液、エッチング液のろ過

超純水、アルコールのろ過