• オールポリエチレン製（中空糸膜、ケース）
• 幅広い耐薬品性能
• ろ過精度5nm～0.1μmまでラインナップ
• カートリッジ（10"・20"）とカプセル（3"・5"）をラインナップ
• ゲル状異物除去能力でDEFECT低減に効果
• 特殊素材+特殊洗浄処理によりメタル、有機物の溶出を低減
• 中空糸膜構造により高流量、低圧損、長寿命を実現し、
  ろ過プロセスの生産性向上に貢献

レジスト、レジスト原料のろ過

シンナー、現像液のろ過

有機・無機薬品のろ過

反射防止膜（TARC、BARC）のろ過

洗浄液、剥離液、エッチング液のろ過

超純水、アルコールのろ過