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半導体・液晶関連

最小孔径5nm。超低溶出薬液フィルタからクリーン対応の圧縮空気用フィルタで、
最先端技術をサポートいたします。

薬液・水系流体のろ過・精製

  • レジスト/反射防止膜/ポリイミド/ポリマー/モノマー/シンナーのろ過 【ろ過精度0.2μm~5nm】

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    • ポリフィックスFTシリーズ
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    • ポリプロピレン製中空糸膜フィルタ
      チューブタイプ
      ろ過精度0.2μm~5nm
    • ポリフィックス F34シリーズ
    • ポリフィックス F34シリーズ
    • ポリプロピレン製中空糸膜フィルタ
      小型ディスポーザブルタイプ
      ろ過精度0.2μm~5nm
    • ポリフィックス F50シリーズ
    • ポリフィックス F50シリーズ
    • ポリプロピレン製中空糸膜フィルタ
      ディスポーザルブタイプ
      ろ過精度0.2μm~5nm
    • ポリフィックス FDシリーズ
    • ポリフィックス FDシリーズ
    • ポリプロピレン製中空糸膜フィルタ
      大容量ディスポーザブルタイプ
      ろ過精度0.2μm~5nm
    • ポリフィックスF70シリーズ
    • ポリフィックスF70シリーズ
    • ポリプロピレン製中空糸膜フィルタ
      カートリッジタイプ
      ろ過精度0.2μm~5nm
    • ポリフィックスPEシリーズ
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    • ポリエチレン製中空糸膜フィルタ
      カートリッジ・ディスポタイプ
      ろ過精度0.1μm~5nm
    • ポリフィックス ナイロン
    • ポリフィックス ナイロン
    • ナイロン製中空糸膜フィルタ
      カートリッジ・ディスポタイプ
      ろ過精度40nm/10nm/5nm(開発中)
    • ユニポア プロセスクリーンTシリーズ
    • ユニポア プロセスクリーンTシリーズ
    • PTFEプリーツフィルタ
      0.05/0.1/0.2/0.45/1/3/10μm
    • ユニポア プロセスクリーンNシリーズ
    • ユニポア プロセスクリーンNシリーズ
    • NYLONプリーツフィルタ
      0.05/0.1/0.2/0.45/0.6μm
  • 現像液/洗浄液/エッチング液/剥離液/酸/アルカリ/純水のろ過 【ろ過精度10~0.05μm】

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    • ポリフィックスF70シリーズ
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    • ポリプロピレン製中空糸膜フィルタ
      カートリッジタイプ
      ろ過精度0.2μm~5nm
    • ポリフィックスPEシリーズ
    • ポリフィックスPEシリーズ
    • ポリエチレン製中空糸膜フィルタ
      カートリッジ・ディスポタイプ
      ろ過精度0.1μm~5nm
    • ポリフィックス ナイロン
    • ポリフィックス ナイロン
    • ナイロン製中空糸膜フィルタ
      カートリッジ・ディスポタイプ
      ろ過精度40nm/10nm/5nm(開発中)
    • ユニポア プロセスクリーンTシリーズ
    • ユニポア プロセスクリーンTシリーズ
    • PTFEプリーツフィルタ
      0.05/0.1/0.2/0.45/1/3/10μm
    • ユニポア プロセスクリーンPシリーズ
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    • PPプリーツフィルタ
      0.2~100μm
    • ユニポア プロセスクリーンSシリーズ
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    • PESプリーツフィルタ
      0.1/0.2/0.45/1.2/5μm
    • ユニポア プロセスクリーンNシリーズ
    • ユニポア プロセスクリーンNシリーズ
    • NYLONプリーツフィルタ
      0.05/0.1/0.2/0.45/0.6μm
    • オールフッ素樹脂製フィルタ
    • オールフッ素樹脂製フィルタ
    • プリーツフィルタ
      0.05/0.1/0.2/0.45/
      1.0/5.0/10.0μm(PTFE膜)
  • フィルタハウジング

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    • オールフッ素樹脂製フィルタハウジング
    • オールフッ素樹脂製フィルタハウジング
    • 2-222ダブルOリング用
    • ステンレス製フィルターハウジング
    • ステンレス製フィルターハウジング
    • 2-222ダブルOリング用
    • ポリプロピレン製フィルタハウジング
    • ポリプロピレン製フィルタハウジング
    • 2-222ダブルOリング用
  • 各種洗浄装置・ダイシング装置の槽内洗浄/ドラフタの洗浄

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    • ウォーターガン WGNシリーズ
    • ウォーターガン WGNシリーズ
    • 純水精密洗浄用ハンドスプレー

金属イオン除去

  • 金属イオン除去フィルター

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    • クラングラフト(微量金属イオン除去フィルター)
    • クラングラフト(微量金属イオン除去フィルター)
    • ポリフィックス ナイロン
    • ポリフィックス ナイロン
    • ナイロン製中空糸膜フィルタ
      カートリッジ・ディスポタイプ
      ろ過精度40nm/10nm/5nm(開発中)
    • 高純度イオン交換樹脂 HGシリーズ
    • 高純度イオン交換樹脂 HGシリーズ

ガスのろ過

  • 圧縮空気/窒素の精密ろ過(インラインフィルタ)【ろ過精度0.01μm】 クリーンエア圧送など

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    • ニューハイミニ エアフィルタ NHM
    • ニューハイミニ エアフィルタ NHM
    • 流用目安:60L/min、80L/min、90L/min
    • ユニポア インラインフィルタ  IRF
    • ユニポア インラインフィルタ  IRF
    • 流量目安300L/min
  • 圧縮空気/窒素の精密ろ過(エアブローガン)  【ろ過精度0.01μm】 装置内のクリーンエアブローなど

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    • ユニポア PPエアーガン
    • ユニポア PPエアーガン
    • ガン本体材質:ポリプロピレン
    • ユニポア エアーガン AGNシリーズ
    • ユニポア エアーガン AGNシリーズ
    • ガン本体材質:ABS

除湿・加湿

  • 駆動エアの除湿/電子デバイスの低湿度保管/チャンバーへのドライエアパージ/キャリアガスの加湿

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    • i-ラインドライヤ
    • i-ラインドライヤ
    • 30L仕様、100L仕様、200L仕様を
      ラインナップ

湿度コントロール

  • 局所空間の湿度制御 【設定可能範囲:5~80%】 製品評価、精密加工雰囲気など

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    • 湿度制御装置【調湿装置】
    • 湿度制御装置【調湿装置】
    • 設定可能範囲:5~80%

脱気・注気

  • 超純水の脱気・注気、半導体用薬液の脱気【脱気 モジュール】

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    • 中空糸膜脱気モジュール (外部灌流方式(EFシリーズ))
    • 中空糸膜脱気モジュール   (外部灌流方式(EFシリーズ))
    • 中空糸膜脱気モジュール (内部灌流方式(PFシリーズ))
    • 中空糸膜脱気モジュール  (内部灌流方式(PFシリーズ))
    • 中空糸膜脱気モジュール (内部灌流方式(PF-Fシリーズ))
    • 中空糸膜脱気モジュール (内部灌流方式(PF-Fシリーズ))
    • 中空糸膜脱気モジュール (内部灌流方式(PF-FシリーズSUSハウジング))
    • 中空糸膜脱気モジュール (内部灌流方式(PF-FシリーズSUSハウジング))