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ポリフィックス ナイロン薬液・純水用ナイロン製中空糸膜フィルタ

中空糸膜技術を用いた
高流量・長寿命・クリーンな高品質フィルタ
ナイロンの特性により、金属イオン低減効果

特徴

  • ろ過精度10nm、40nmをラインナップ(5nm:開発中)
  • カートリッジ(10"・20")とカプセルをラインナップ
  • 高いゲル状異物除去能力
  • 特殊洗浄処理によりメタル、有機物の溶出を低減
  • 中空糸膜構造により高流量、低圧損、長寿命を実現
  • ナイロンによる金属イオン低減効果

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用途例

  • レジスト、レジスト原料のろ過
  • 反射防止膜(TARC、BARC)のろ過
  • シンナー、現像液のろ過
  • 洗浄液、剥離液、エッチング液のろ過
  • 無機・有機薬品のろ過
  • 超純水、アルコールのろ過

製品記号構成

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仕様

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流量特性

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外形寸法

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金属イオン除去特性例

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