中空糸膜脱気モジュール（内部灌流方式 / PF-FシリーズSUSハウジング）

半導体・液晶関連分析機器関連脱気・注気

脱気フィルター薬液・溶剤用脱気モジュール

脱気フィルター

特徴

脱気用中空糸にフッ素系樹脂を採用した、接液部が全てフッ素系樹脂の脱気モジュール。フッ素樹脂の為、高い耐薬品性があり、酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気（デガス）が可能。

用途例

分析用薬液・溶剤の脱気、脱泡が可能です。（各種溶剤、溶剤系インク、薬液、等）
塗布装置（コーター）向け塗料脱気・脱泡が可能です。
半導体用薬液の脱気・脱泡が可能です。（各種レジスト等）
液晶用薬液の脱気・脱泡が可能です。（各種レジスト等）

仕様

外形寸法

構成部材

脱気性能

圧力損失

脱気のイメージ（内部灌流）

※各型式の仕様書を取り揃えております。ご要望の際には、ホームページお問合せにてご連絡下さい。
※脱気、脱泡には真空ポンプあるいは真空ラインが必要です。配管例の資料もございますので、ご要望の際には、ホームページお問合せにてご連絡下さい。
※型式の選定も可能です。ご使用条件：液種、液温、流量、ご希望する脱気レベル（ppm）をお聞かせ下さい。